Zusammenfassung der Dissertation
β-FeSi₂-Dünnschichten (~800 nm) wurden durch kontrolliertes DC-Sputtern auf Edelstahl (304SS), Si (100) und Saphir Al₂O₃ (0001) hergestellt – mit dem Ziel optimaler Morphologie, Textur und räumlicher Phasenverteilung.
Optimale Bedingungen: 1 h Abscheidung · 12,12 nm/min · 500 °C Substrattemperatur · 1 Pa – kontinuierliche, hochwertige Schicht mit guter Haftung auf 304SS.
Temperatur: Oberhalb von 600 °C setzt die Fe/Si-Interdiffusion an der Grenzfläche ein.
Kammerposition: Proben in der Mitte zeigen eine scharfe Fasertextur, äußere Proben geneigte Fasern.